《Multi-Wafer Rotating MEMS Machines: Turbines, Generators, and Engines》
《Multi-Wafer Rotating MEMS Machines: Turbines, Generators, and Engines》MEMS多晶圆旋转机械——涡轮机,发电机和发动机
编者:Jeffrey H. Lang
出版社:Springer
出版时间:2009年
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